ASTM B283-2010 铜和铜合金模锻件(热压)标准规范
作者:标准资料网 时间:2024-05-11 03:21:45 浏览:9123
来源:标准资料网
【英文标准名称】:StandardSpecificationforCopperandCopper-AlloyDieForgings(Hot-Pressed)
【原文标准名称】:铜和铜合金模锻件(热压)标准规范
【标准号】:ASTMB283-2010
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2010
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:B05.02
【标准类型】:(Specification)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:copperandcopperalloydieforgings(hotpressed);dieforgings(hotpressed);UNSNo.C11000;UNSNo.C14500;UNSNo.C14700;UNSNo.C27450;UNSNo.C36500;UNSNo.C37000;UNSNo.C37700;UNSNo.C46400;UNSNo.C48200;UNSNo.C48500;UNSNo.C49260
【摘要】:1.1Thisspecificationestablishestherequirementsforcopperandcopperalloydieforgingsproducedbythehotpressingmethod.
【中国标准分类号】:H62
【国际标准分类号】:77_150_30
【页数】:10P.;A4
【正文语种】:
基本信息
标准名称: | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 |
英文名称: | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process |
中标分类: |
电子元器件与信息技术 >>
微电路 >>
微电路综合 |
ICS分类: |
电子学 >>
集成电路、微电子学
|
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2012-05-11 |
实施日期: | 2012-12-01 |
首发日期: | 2012-05-11 |
作废日期: | |
主管部门: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
提出单位: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: | 中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
起草人: | 崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2012-12-01 |
页数: | 16页 |
适用范围
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 工艺流程 2
4.1 体硅溶片工艺流程 2
4.2 硅片加工工艺流程 2
4.3 玻璃片加工工艺流程 3
4.4 硅-玻璃键合片工艺流程 4
5 工艺加工能力 4
6 工艺保障条件要求 4
6.1 人员要求 4
6.2 环境要求 4
6.3 设备要求 5
7 原材料要求 6
8 安全操作要求 6
8.1 用电安全 6
8.2 化学试剂 6
8.3 排废 6
9 工艺检验 6
9.1 总则 6
9.2 关键工序检验 7
9.3 最终检验 8
附录A (资料性附录) 体硅溶片关键工序检验方法 10
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB50073—2001 洁净厂房设计规范
GB/T19022—2003 测量管理体系 测量过程和测量设备的要求
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
所属分类: 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
【英文标准名称】:Underground-type,self-cooled,single-phase,distributiontransformerswithseparableinsulatedhigh-voltageconnectors;Highvoltage25000Vandbelow;Lowvoltage600Vandbelow;167kVAandsmaller
【原文标准名称】:有可分离绝缘高压连接器的地下型、自冷式单相配电变压器:高压25000V及以下、低压600V及以下、167kVA及更小的变压器
【标准号】:IEEEC57.12.23-2002
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国电气电子工程师学会(US-IEEE)
【起草单位】:IEEE
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:特性;尺寸;连接器;雷电冲击电压;转换冲击电压;电气工程;电驱动装置;低电压;变压器;额定值;电气试验;试验;配电变压器;主变压器;脉冲电压试验;外壳;油浸式变压器;电力变压器;地下;脉冲电压;符号;高电压
【英文主题词】:Connectors;Dimensions;Distributiontransformers;Electricalengineering;Electricaltesting;Electrically-operateddevices;Enclosures;Highvoltage;Impulsevoltages;Impulse-voltagetests;Lightningsurgevoltages;Lowvoltage;Mainstransformers;Oil-immersedtransformers;Powertransformers;Properties;Ratings;Switchingimpulsevoltages;Symbols;Testing;Transformers;Underground
【摘要】:Intendedforuseasabasisfordeterminingperformance,interchangeability,andsafetyoftheequipmentcovered,andtoassistintheproperselectionofsuchequipment.Coverscertainelectrical,dimensional,andmechanicalcharacteristicsandtakes
【中国标准分类号】:K41
【国际标准分类号】:29_180
【页数】:14P;A4
【正文语种】:英语